Диэлектрические высокоотражающие зеркальные покрытия для квантовых каскадных лазеров с длиной волны излучения 4 - 5 мкм

Проведен расчет диэлектрических зеркал для квантовых каскадных лазеров среднего ИК диапазона. Подобраны оптимальные материалы диэлектриков для минимизации поглощения лазерного излучения. Изготовлены образцы излучающих в спектральном диапазоне 4 - 5 мкм квантовых каскадных лазеров с различными диэлектрическими высокоотражающими зеркальными покрытиями и исследованы их характеристики. Показано, что нанесение на заднюю грань резонатора высокоотражающего покрытия Si - Si₃N₄ привело к увеличению выходной оптической мощности исследуемых лазеров на 71

The calculation of dielectric mirrors for quantum cascade lasers in the mid-IR range was carried out. Optimal dielectric materials were selected to minimize the absorption of laser radiation. Samples of quantum cascade lasers emitting within the spectral range of 4 - 5 μm with various dielectric highly reflective mirror coatings were made and their characteristics were studied. It was shown that the deposition of highly reflective Si - Si₃N₄ coating on the rear face of the resonator led to the increase in the output optical power of the lasers under study by 71