ЭЦР источник плазмы для плазменных технологий

Для формирования однородной плазмы высокой концентрации в области объекта обработки большого диаметра предлагается использовать цилиндрический Н0nq-ре-зонатор, структура электрического поля в котором определяет возможность его проникновения в плазму с концентрацией частиц, превышающей критическое значение.