Исследование шероховатости поверхностей диэлектриков с использованием волноводного рассеяния света

Дано более точное описание процесса волноводного рассеяния с излучением, учитывающее интерференционные эффекты. Развита методика измерения спектральной плотности шероховатости оптической поверхности. Создана и прокалибрована установка, позволяющая измерять характеристики шероховатости особо гладких поверхностей.