ОЭС-ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ ЭЦР-РАЗРЯДА В ОБЛАСТИ ПРОМИЖУТАЧНЫХ ДАВЛЕНИЙ

В работе были проведены абсолютные измерения концентрации электронов (ne) в плазме ЭЦР-разряда в области умеренных давлений методами оптической эмиссионной спектроскопии (ОЭС). Изучено поведение концентрации плазмы разряда от давления и вкладываемой в разряд мощности СВЧ.

OES-PLASMA DIAGNOSTICS ECR DISCHARGE AT INTERMEDIATE PRESSURE

In this work were made out absolute measurements of the electron density (ne) in the ECR discharge plasma at moderate pressures by optical emission spectroscopy (OES). Received The dependences of plasma density ne on pressure and input HF were obtained.