Time-resolved evolution of plasma parameters in a plasma immersion ion implantation source

Авторы

Journal

Номер выпуска

Язык

English

Страницы

123523

Статус

Published

Том

Год

2021

Организации

¹ Department of Physics and Engineering Physics|University of Saskatchewan
² Aix-Marseille Université|CNRS|PIIM|UMR 7345|Centre Scientifique de Saint Jérôme|Case 241

Цитировать

Article

Kartashkin V.A., Abashidze A.Kh.

International Journal on Minority and Group Rights. Том 10. 2003. С. 203-220

Article

Альберто Г.Э., Чурсин А.А., Кутахов В.П.

Журнал прикладных исследований. 2021. С. 39-47