Расчётный и экспериментальный анализ характеристик анализатора спектра шероховатости поверхности

Выполнен анализ характеристик макета анализатора спектра шероховатости поверхности, в котором используется волноводное рассеяние света. Расчётные характеристики и параметры макета сопоставляются с измеренными. Представлен экспериментальный спектр шероховатости поверхности градиентного волновода.

Calculated and Experimental Analysis of Characteristics of Spectrum Analyzer of Surface Roughness

The analysis of characteristics of surface roughness spectrum analyzer prototype whichuses a waveguide light scattering is performed. Calculated characteristics and layout optionsare compared with measurements. The experimental spectrum of the surface roughness ofthe gradient waveguide is presented.