PASSIVATION OF ELECTRIC ACTIVE-CENTERS IN GALLIUM-ARSENIDE BY HYDROGEN PLASMA-FLOW

BALMASHNOV A.A. , GOLOVANIVSKII K.S. , KAMPS E.K. , OMELYANOVSKII E.M. , PAKHOMOV A.V. , POLYAKOV A.Y.

MEZHDUNARODNAYA KNIGA / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук

24

Русский

1486-1489

Опубликовано

12

1986