Сборник материалов конференции
Издательство
Общество с ограниченной ответственностью "Электровакуумные технологии"
Ключевые слова
прозрачные электроды; подвижность; аморфизация; магнетронное распыление; примесь; transparent electrodes; mobility; amorphization; magnetron sputtering; impurity