Повышение разрешающей способности акустооптических измерителей линейных перемещений

Описывается акустооптическая схема измерителя линейных перемещений с субмикронной разрешающей способностью, построенная на основе принципа лазерного зондирования поверхностных акустических волн с опорной дифракционной решеткой. Предложены изменения в схеме, которые позволяют повысить разрешающую способность измерений в два раза.

Enhancing of the Resolution of Acoustooptical Devices for Linear Displacements Measuring

The acustooptic device for linear displacements measuring with submicron resolution is described. The scheme is designed on the base of lazer probing of surface acoustic waves with using stationary reference grating. Changes in the scheme are suggested to enhance the resolution of measurements by the factor of two.