On nonlocal heating in inductively coupled plasmas

Авторы
Tyshetskiy Yu.O. 1 , Smolyakov A.I. 1 , Godyak V.A. 2
Журнал
Plasma Sources Science and Technology
Издательство
IOP, Bristol, United Kingdom
Номер выпуска
2
Язык
Английский
Страницы
203-207
Статус
Опубликовано
Том
11
Год
2002
Организации
  • 1 Department of Physics and Engineering Physics|University of Saskatchewan
  • 2 OSRAM Sylvania
Цитировать
ГОСТ MLA RIS BibTex
Поделиться

Другие записи