Time-resolved evolution of plasma parameters in a plasma immersion ion implantation source

Авторы
Moreno J. 1 , Khodaee A. 1 , Okerstrom D. 1 , Bradley M.P. 1 , Couëdel L. 1, 2
Журнал
Physics of Plasmas
Номер выпуска
12
Язык
Английский
Страницы
123523
Статус
Опубликовано
Том
28
Год
2021
Организации
  • 1 Department of Physics and Engineering Physics|University of Saskatchewan
  • 2 Aix-Marseille Université|CNRS|PIIM|UMR 7345|Centre Scientifique de Saint Jérôme|Case 241
Цитировать
ГОСТ MLA RIS BibTex
Поделиться

Другие записи