Определение параметров плазмы микроволнового ЭЦР разряда методами ОЭС

Издательство
РУДН
Язык
Русский
Страницы
166-170
Статус
Опубликовано
Год
2014
Организации
  • 1 Росcийский университет дружбы народов
Цитировать
Поделиться

Другие записи