Calculational Evaluation of the Adsorption–Desorption Behavior of Pyrolysis Products in GaAs xP1 –x Metalorganic Vapor Phase Epitaxy

Авторы
Maksimov A.D. 1 , Davydkin M.A. 1 , Bagaev T.A. 3, 2 , Andreev A.Y. 2 , Yarotskaya I.V. 2 , Ladugin M.A. 2 , Marmalyuk A.A. 2
Номер выпуска
4
Язык
Английский
Страницы
425-432
Статус
Опубликовано
Том
58
Год
2022
Организации
  • 1 Moscow Institute of Radio Engineering|Electronics|and Automation|Russian Technological University
  • 2 AO Stel’makh Polyus Research Institute
  • 3 Russian University of Peoples’ Friendship
Цитировать
Поделиться

Другие записи