ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ СЛОИ ДЛЯ ГИБКОЙ ПРОЗРАЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ СтатьяАбдуев А.Х., Беляев В.В., Генералов Д.В., Николаева Д.В., Саенко В.В., Сметанин Е.А., Хань ЦиВакуумная техника, материалы и технология. 2024. С. 73-74